1. 基地測量及鑑界及25單位敏感區域函詢。
2. 認定非屬低污染事業(負面列舉事業37項)。
3. 97.3.14前從事物品製造、加工之證明文件。
4. 設廠基本資料(產品製造流程圖、公司或商業登記證明文件、負責人身分證影本、機器設備配
置圖(加註使用電力容量、熱能))。
5. 檢送工廠登記申請書及應檢附書件(分二階段)。
6. 應出具之建築師勘驗建物安全結構證明書。
7. 如屬國際公約列管管制物質者,應檢附出具之許可文件。
8. 如訂有設廠標準者,應檢附設廠配置圖(如食品加工廠)。
9. 環保判定(水污、固污、廢棄物、環評等事業),應檢附依環保法規核准或許可之證明文件。
10. 消防法規之圖說審查核定及竣工查驗核定證明文件。
11. 使用水源是否符合水利法、廢污水排注取得許可或同意。
12. 位於山坡地範圍者,應擬具之水土保持計畫是否可行。
13. 繳交審查及登記費(費用5000元整)。
14. 繳交登記回饋金(1800m2以上,10萬元整)。